帝人フロンティア／超極細「ナノフロント」で研磨パッド／品質安定とコスト削減両立

2019年05月21日 （火曜日）

　帝人フロンティアは、超極細繊維「ナノフロント」で半導体用シリコンウエハー向け研磨パッドを開発した。半導体メーカーやフラットパネルディスプレーメーカーをターゲットとする販売を今年度中に立ち上げ、2025年度で売上高を10億円に引き上げる。

　同社は研磨パッドにナノフロントを使うことで、シリコンウエハーの品質安定と研磨工程の短縮および砥粒研磨液の使用量削減による製造コスト低減を両立させたとしている。

　柔軟性、吸水性を持つポリマーを原料とするナノフロントの不織布にポリウレタン樹脂を含浸。パッド表面の砥粒の付着性、砥粒研磨液の保持性に優れる。パッドに高密度で砥粒が付着するため、研磨液の砥粒濃度を下げても十分な研磨効率を発揮する特徴を持つ。